<button id="gbt57"><object id="gbt57"></object></button>

    <tbody id="gbt57"></tbody>
    <dd id="gbt57"></dd>

    <button id="gbt57"></button><th id="gbt57"></th>

    請您留言

    MYW10

    MYW10

    MYS 系列- MYW10 等離子系統

    實現高柔性、高產能的Wafer表面處理制程


    隨著電子裝配和半導體市場的快速發展,整個工業對生產效率及可靠度的要求也不斷提升。MYS 系列清潔設備通過消除傳統真空式等離子體處理的等待時間,帶來巨大產能和整體良率提升,同時能確保安全地處理所有敏感性電子元件。


    產品特性

    MYW10 等離子系統實現高柔性、高產能的Wafer表面處理制程


    ? 常壓式氬氣等離子系統

    ? 100mm寬等離子在線式批量處理,相比傳統方式效率提升2-5倍,使用成本降低30%以上 

    ? 100%中性等離子,對敏感電子元器件,不產生等離子轟擊、靜電、火花、電弧、粉塵、高溫、水波紋、紫外線, 不會對產品帶來任何傷害,更為安全友好

    ? 多種化學制程:O2制程去除有機污染物,H2制程去除金屬氧化物,活化產品表面

    ? 不會對Wafer產生顆粒污染和表面粗糙度變化

    ? 可兼容Wafer和Tape frame的生產以及兩者快速切換

    ? 滿足Class10級無塵和SEMI標準


    MYW10 應用900x.jpg

    規格參數


    基本參數

    MYW10

    用電需求

    AC 380V, 13kW, 17A, 50/60Hz

    氣壓需求

    90psi(6bar)

    外形尺寸

    2000*2800*2200mm

    重量

    2200kg

    認證標準

    SEMI S2/S6/S8

    定位精度

    XY: ±?20?um@3?σ?Z: ±?10um@3?σ

    XYZ軸重復精度

    XY: ±?10um@3?σ?Z: ±?5um@3?σ

    最大速度

    1000mm/s(XY)

    加速度

    1.0g

    驅動系統

    AC servo

    工作平臺參數

    上下料形式

    OHT+Load port+機械手

    機械手承重

    3KG

    適用Wafer晶圓尺寸

    12寸 (300mm)

    軟件操作系統

    Windows 10

    X/Y行程

    400mm/500mm

    Z軸行程

    20mm

    通訊協議

    SMEMA

    工作范圍

    等離子處理范圍(W*D)

    300*300mm

    等離子處理后接觸角 (WCA)

    WCA<10° (Wafer)

    等離子處理方式

    O2制程去除有機污染物

    H2制程去除金屬氧化物

    等離子系統設備需求

    RF功率

    600W at 27.12MHz

    主要等離子氣體

    Argon

    制程氣體

    O2, N2, or H2 (Other upon testing)

    氣源壓力范圍

    40~100psi (0.3~0.7MPa)



    (*)號為必填
    *
    *
    *
    *
    *
    *
    *
    *

    我已閱讀并同意《隱私保護》

    (*)號為必填
    *
    *
    *
    *
    *
    *

    我已閱讀并同意《隱私保護》

    郵箱登錄 手機登錄
    手機登錄 郵箱登錄
    郵箱找回密碼
    修改個人密碼
    密碼修改已成功,請重新登錄!
    日本JAPANESE丰满白浆 <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <蜘蛛词>| <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链> <文本链>